Das Herzstück unserer Technologie

SC-350 Prozesskammer

Das Kernstück des SC-350 ist eine vielseitige Prozesskammer, die sowohl für bestehende Standardanwendungen wie Vakuum-Reflow-Löten als auch für zukünftige innovative Prozesse entwickelt wurde. Sie ist mit einer leistungsstarken Automatisierungsplattform ausgestattet und nutzt eine zukunftsorientierte Softwarearchitektur, die Smart Manufacturing und IoT-Anwendungen unterstützt.

  • Präzise Steuerung der Prozessparameter
  • Ideal für Großserienproduktion und flexible Anpassungen
  • Unbegrenzte Funktionalität
  • Maximale Flexibilität für Forschung, Entwicklung und Massenproduktion
  • IoT-Konnektivität
  • Weltweiter Support mit minimalen Betriebskosten und zertifizierter IT-Sicherheit

Die SC-Serie: Der smarte Verarbeitungskern

Mit der SC-Serie präsentiert REK Innovation eine neue Generation intelligenter Prozesskammern, die Forschungsflexibilität mit der Leistung und Zuverlässigkeit für den Dauerbetrieb vereinen.

  • Arbeitsbereich: 400 × 350 × 70 mm
  • Maximale Temperatur: Bis zu 1000°C
  • Vakuumfähigkeit: Hochvakuumprozesse für maximale Reinheit
  • Gasverarbeitung: Einstellbare Atmosphären für inerte und reaktive Gase (inklusive Ameisensäure für flussmittelfreies Löten)
SC-Serie Illustration

Intelligente Prozesssteuerung für maximale Effizienz

SC-350 in Aktion

Der SC-350 unterstützt sowohl kontaktbasierte als auch kontaktlose Wärmeübertragung und ermöglicht so vielfältige Anwendungen, wie die Verarbeitung von Leistungselektronik auf DBC- oder AMB-Substraten.

  • Unabhängige Heiz- und Kühlsteuerung – extrem schnelle Temperaturwechsel
  • Höchste Effizienz – kurze Zykluszeiten für maximale Produktivität

Anwendungen

Vakuum-Reflow-Öfen werden hauptsächlich für Anwendungen verwendet, bei denen lunkerfreies Löten entscheidend ist:

  • Leistungselektronik (DBC / AMB)
  • LED-Fertigung
  • Die-Attach & Wafer-Level-Packaging
  • Substratlöten & Gehäuseversiegelung
  • Weitere thermische Prozesse wie Glühen, Sintern und Legieren

Technologische Highlights

  • Regelgenauigkeit: ±0,5 K über den gesamten Prozess
  • Temperaturverteilung: 1 % Homogenität über die gesamte Prozessfläche von 450 × 350 mm – inklusive Aufheiz- und Abkühlphasen
  • Modernste Steuerung: Industrie‑4.0‑fähige Plattform mit sicherem Fernzugriff und Langzeitverfügbarkeit
  • Flexible Wärmeübertragung: Direktes oder indirektes Heizen Ihrer Produkte – optimal anpassbar an Material, Prozess und thermische Anforderungen
  • Optimiert für alle Lötprozesse: Ideal zur Verarbeitung von flussmittelfreien und flussmittelhaltigen Loten

Technische Daten

  • Abmessungen (B × T × H): 790 × 1420 × 1230 mm
  • Gewicht: ca. 230 kg
  • Maximale Prozesstemperatur: 1000 °C
  • Prozessraum: 450 × 350 × 75–150 mm (Breite × Länge × Höhe)
  • Geeignet für: Powermodule, T/R‑Module, Power‑LED, Laserbars, MEMS, Flip‑Chip‑Prozesse
  • Beladebeispiel: 300‑mm‑Wafer
  • Temperaturperformance: Regelgenauigkeit ±0,5 K
  • Temperaturverteilung: 1 % Homogenität über die gesamte Prozessfläche
  • Prozessatmosphäre & Druckbereich:
  • • Unterstützte Prozessatmosphären: Ameisensäure, Inertgase, Formiergas (≤ 5 % H₂), Wasserstoff
    • Druckbereich: von 1 bar Überdruck über Atmosphärendruck bis hin zu Hochvakuum 5 × 10⁻⁶ mbar
    • In‑situ‑Überwachung des Rest‑Sauerstoffgehalts während des gesamten Prozesses

Kontakt

Optimieren Sie Ihre Produktion mit unseren innovativen Technologien. Kontaktieren Sie uns für eine persönliche Beratung oder ein unverbindliches Angebot.

Jetzt Kontakt aufnehmen